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萬濠金相顯微鏡MTM-3020MA
萬濠金相顯微鏡MTM-3020MA
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萬濠金相顯微鏡MTM-3020MA

  • 詳情說明

特點:
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準係統,可人工觀察金屬表麵的金相組織結構,是集光、機、電、算、影像於一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,廣泛應用於電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方麵、鍍膜厚度、手機玻璃等工業領域。
特點:
1.X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2.電動Z軸分辨力0.1μm
3.具有高度自動測量
4.內建偏光測量光學模塊
5.高速/無接觸測量
6.同軸光/底光測量
7.可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
技術規格參數:
型號
MTM-3020MA
工作台
金屬台尺寸(mm)
500 x 330
玻璃台尺寸(mm)
350 x 250
X、Y軸運動行程(mm)
300 x 200
手動Z軸行程(mm)
120
自動Z軸行程(mm)
2
外形尺寸(mm)
825 x 660 x 910
儀器重量(kg)
130
X、Y、Z軸分辨力(μm)
0.5
自動Z軸分辨力(μm)
0.1
示值誤差(μm)

E1XY=( 2.5+ L/100) μm  (L為測量長度,單位mm)

物鏡放大倍數誤差
包括畸變在內的放大率誤差≦0.08%
落射照明光源
可調高亮度鹵素燈
底光照明光源
可調高亮度LED燈源
目視係統
影像係統
物鏡放大倍數
5X、10X、20X、50X
5X、10X、20X、50X;10X Mirau物鏡
目鏡放大倍數
10X雙鏡筒
1/2”CCD攝像機
視頻總倍率
50X ~500X
142.5X ~1425X (19.5”顯示器,分辨率1440 x 900)
單層透明膜厚度測量模組
高精度測量模式
快速測量模式
厚度測量範圍
100nm ~300nm
300nm ~500nm
500nm ~3μm
3μm ~20μm
分辨力
5nm
5nm
7.5nm
0.1μm
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